Mnohem lepší je vysvětlovat těm co mají zájem naslouchat a ptají se, jak těm co neustále oponují pak z toho nemá nikdo nic.
Nepsal jsem o masce, ale o tenké vrstvě a jako první příklad jsem uvedl masku.
Fotolitografická maska je vyrobena složitou technologii na speciálním skle. Sklo má rovinnost řádově do 1µm a je bez jakýchkoliv defektů. Na povrch skla je napařen či na-prášen kov, jeho oxid či jiná sloučenina o požadované síle a optických vlastnostech. Síla vrstvy (densita) se měří při napařování či naprašování prosvěcováním, tím je vyroben polotovar, který se dále lakuje fotorezistem (světlo-citlivý lak), jehož síla se rovněž měří.
Originál masky se vyrábí přímým krokováním - nasvěcováním generátorem obrazců, či krokovací kamerou. Kopie se vyrábí přenesením obrazce fotocestou. Fotocestou se rovněž provádí přenesení obrazce na křemíkovou desku. Do cca 1µm se přenáší obraz 1:1 a kontaktní metodou, maska s maskou, či maska s křemíkovou deskou se dotýkají, vzduch mezi nimi se vyčerpá. Rozměry menší jak 1µm se nepřenáší kontaktně, ale pomocí optiky, zde je maska vždy ve větším měřítku, nedá se osvítit celá křemíková deska, jak u kontaktní metody, proto se opět krokuje, stejně jak se vyráběl originál masek, tam se však tvořil obrazec za obrazcem, nyní se přenáší skupina čipů. Křemíková deska je samozřejmě opatřena fotorezistem.
Fotorezist na desce však neslouží k tomu aby se pomocí něj vytvářel budoucí obrazec, jak je to u fotorezistu na masce, ale slouží pro vytvoření maskovací vrstvy SiO2. Tedy fotorezist se po nasvícení vyvolá a křemíková deska se nechá zoxidovat, na chráněných místech nezoxiduje, pak se lak omyje a provádí se vlastní operace, difuze, epitax či implantace, po dokončení operace na celé desce se oxid odleptá a tak dále a tak dále.
Používám od roku 58 v Čechách vžitý název křemíková deska, všechny operace se provádí v superčitých či ještě čistějších prostorách, většina operací se provádí ve vakuu, proto se jedná o vakuovou techniku, tenké vrstvy se požívají nejenom na výrobu polovodičů ale na mnoho dalších věcí, jako optické filtry, reflexní vrstvy, fotolitografická maska je právě takovým případem tenkých vrstev atd. atd. dalo by se diskutovat o konkrétních zařízeních, podmínkách i některých Know-hau bylo by to na strašně dlouho.
Herkis píše:Federmann:
Tentokrát musím dát no-xovi za pravdu.
Takovýchto o něco větších (1200) "balzersek" máme několik desítek, ty nejstarší ještě z doby, kdy Balzers byl malou lichtenštejnskou garážovou firmou.
Krteq píše:...ale F. píše o masce něco jiného.
Nikdy neříkám to co není pravda, druzí si však často myslí opak, stejně jak zde:
• Já píši o tenké vrstvě a někdo si představujete funkci masky, dvě naprosto odlišné záležitosti.
• Já píší jen velmi povrchně o velmi složité chemicko-fyzikálně-technologické operaci při výrobě tenké vrstvy řádu nm, jejíž složení, hustota, optické vlastnosti jsou samostatnými vědními obory a někdo si představuje obsluhu zařízení na napařování či naprašování zrcadlové plochy řádu µm, bez jakékoliv prostorové složitosti.
• Ta "malá garážová firma" měla pobočky po celé zeměkouli včetně US a CCCP a dodávala celosvětově více než polovinu technologii. Znal jsem ji velmi dobře a byl jsem dál než v té garáži, kde se krátkodobě skladovaly díly a zařízení vyrobené jinými dodavateli, aby se následně poskládaly do nějaké technologické linky. Balzers byl hlavně o Know-Hou, nějaký čas jsem tam pobýval a ne jenom tam.
Ale zpět, nebo přibude těch co mi vůbec nerozumí, jak je vidět každý se často bavíme o zcela něčem jiném. Pokud si někdo myslí, že někde nemám pravdu, vyjma spekulací, nech se mi ozve, nebo hledá chybu sám u sebe. Není to o tom že bych si vymýšlel, ale o tom že druhá strana ani netuší jak je problematika složitá.
Nedělám se a nejsem tak chytrý, pouze jsem byl ve správný čas na správném místě a několik let jsem se v této problematice pohyboval, vyráběl ,vyvíjel zkoumal atd. Kdybych tam nebyl já byl by tam někdo jiný. Dnes je to spíše nostalgie, neboť špičkové technologie tu nejsou. Zařízení, které jsem kdysi kupoval dnes stále slouží v ON-semi. V bývalí kolegové v NDR mají AMD.
Pokud si někdo myslí, že jsou jeho znalosti ve vakuové technice na takové úrovni, že může dělat lektora, budu rád když přijde přednášet. V Čechách se od revoluce zastavil čas a není zde téměř nic, včetně vysokých škol. Jediné co je poblíž, je ŠTUBA Bratislava, kde je vynikající pan prof. Ing. Daniel Donoval, DrSc. ... Zde se šlo cestou nano-technologii, když Tesla Rožnov a Piešťany v této oblasti padly.
